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FEMAG/FZ 区熔法晶体生长仿真模块
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所 在 地 北京市海淀区
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发布时间 2023-09-25
有 效 期 永久
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北京云道智造科技有限公司
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详细地址 北京市海淀区永泰庄北路1号中关村东升国际科学园5号楼A座1层

模拟区熔法(Floating Zone process,FZ)生长工艺的仿真模块,可对区熔法生长的超纯单晶硅工艺过程进行模拟。超纯单晶硅广泛用于大功率器件、电力汽车、高铁等设备。

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